采用氢化物发生-原子荧光光谱法分析工业硅中的砷,对溶样方法、实验条件进行了实验讨论。实验采用聚四氟乙烯烧杯,用硝酸、氢氟酸、高氯酸、盐酸溶解样品,在选定的条件下,砷的检出限为0.30μg/L,回收率在96.0%～102.0%之间,相对标准偏差为1.26%。此法可以测定工业硅中0.000 01%～0.001%范围内的微量及痕量砷。
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