差动光程差倍增法测量微小位移

作者：江立辉; 蔡春潮; 梁建波; 彭广生; 张红; 邓诚先

来源：物理实验, 2009, 29(6): 8-10,14.

DOI：10.3969/j.issn.1005-4642.2009.06.003

• 光程差倍增
• 差动干涉
• 电桥

基于差动光程差倍增法将微小位移转化为多倍光程差,通过电桥光电转换电路,得到干涉条纹数的变化,采用差动干涉方法,提高了光程改变量与位移量的比例,使微小位移的测量精度提高到亚微米量级.

• 单位
  华南理工大学