砷烷纯化的进展

作者：巩晓辉; 任少科; 苏耀华; 张澈; 方建朝

来源：低温与特气, 2021, 39(05): 11-13.

• 砷烷
• 半导体
• 纯化

以砷化锌为原料制备砷烷(AsH3)是制备砷烷的一种重要途径,高纯度AsH3作为一种常用的电子特气在半导体集成电路中发挥着重要的作用,并广泛应用于太阳能电池和其他有机砷化物的合成,具有一定研究基础和重要的工业价值。在过去的几十年里,在AsH3的纯化上取得了重大进展。文章对砷烷纯化进行了简要的总结,包括提纯原料、设备设计和产品提纯,同时对AsH3纯化的发展前景做出了展望。