薄膜反射镜纳秒极紫外辐照损伤

作者：***; 李淑慧; 潘刘洋; 张哲; 谢春; 黄秋实; 王占山^*

来源：光学精密工程, 2022, 30(21): 2698-2710.

• 极紫外
• 薄膜反射镜
• 抗损伤性能
• 损伤机制

随着超短超强自由电子激光等光源的应用，极紫外、X射线波段薄膜反射镜的抗辐照性能备受关注。本文介绍了IPOE实验室搭建的纳秒极紫外辐照损伤装置，并对极紫外-X射线自由电子激光常用的B4C薄膜反射镜、Au和Ru金属单层膜反射镜、B4C/Ru双层膜反射镜以及极紫外光刻用Mo/Si多层膜反射镜开展了辐照损伤测试，获得了不同材料和结构的薄膜反射镜抗损伤性能，结合理论模拟揭示了热熔融、热应力和膜层间扩散反应等损伤机制的作用。

• 单位
  同济大学