Sb_2O_3/CeO_2共掺杂ZnO薄膜的研究

作者：徐芸芸; 张韬; 李争鸣; 徐新

来源：表面技术, 2011, (06): 62-64.

DOI：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2011.06.003

• 磁控溅射
• ZnO薄膜
• 掺杂
• 结构
• 紫外吸收 magnetron sputtering
• ZnO thin film
• doped
• structure
• ultra-violet absorption

采用射频磁控溅射技术制备Sb2O3/CeO2共掺杂ZnO薄膜,研究了薄膜的结构及紫外光吸收性能。结果表明:Sb2O3和CeO2共同掺入ZnO薄膜后,ZnO(002)晶面的XRD衍射峰强度明显下降,ZnO薄膜呈混晶方式生长;共掺杂ZnO薄膜的紫外吸收性能明显优于纯ZnO薄膜,Sb对掺杂ZnO薄膜的结构和紫外吸收性能的影响起主导作用,Ce起进一步的强化作用。

• 单位
  中国人民解放军空军指挥学院