具有86 mV/dec亚阈值摆幅的MoS_2/SiO_2场效应晶体管（英文）

作者：刘强; 蔡剑辉; 何佳铸; 王翼泽; 张栋梁; 刘畅; 任伟; 俞文杰; 刘新科; 赵清太

来源：红外与毫米波学报, 2017, 36(05): 543-549.

• MoS2场效应晶体管
• 良好的亚阈值斜率
• SiO2栅介质
• 界面态密度

在SiO_2/Si(P~(++))衬底上制备了多层MoS_2背栅器件并进行了测试.通过合理优化和采用10 nm SiO_2栅氧,得到了良好的亚阈值摆幅86 mV/dec和约107倍的电流开关比.该器件具有较小的亚阈值摆幅和较小的回滞幅度,表明该器件具有较少的界面态/氧化物基团吸附物.由栅极漏电造成的漏极电流噪声淹没了该器件在小电流(~10~(-13)A)处的信号,限制了其开关比测量范围.基于本文以及前人工作中MoS_2器件的表现,基于薄层SiO_2栅氧的MoS_2器件表现出了良好的性能和潜力,显示出丰富的应用前景.

• 单位
  信息功能材料国家重点实验室; 上海大学; 深圳大学; 材料学院; 中科院上海微系统与信息技术研究所