通过对谐振腔腔镜失调灵敏度的计算,分析了声光调Q开关位置对调Q脉冲输出稳定性的影响。计算表明:Q开关放置在输出镜一侧会使脉冲序列更加稳定。在基模输出的条件下,获得了峰值功率为几十kW的调Q脉冲输出。采用BBO晶体对Nd:YAG激光器四倍频,获得了1.9 W的266 nm紫外激光输出。