本实用新型涉及一种耐高温碳化硅欧姆接触结构,包括：SiC衬底(10)、SiC外延层(20)以及依次设置于所述SiC外延层表面的Ni金属层(30)、W金属层(40)、TaSi2金属层(50)、Pt金属层(60)。本实用新型提供的耐高温碳化硅欧姆接触结构在高温、空气环境下有着良好热稳定性和电学特性。
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