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摘要
微器件广泛应用于电子工业。由于衍射效应，微器件的物理边缘与光学边缘不一致，这给检测和测量带来了挑战。为提高微目标检测与测量精度，本文将图像超分辨率重建与目标测量结合，提出了一种基于边缘增强的图像超分辨率重建算法并搭建了对应的测量系统。首先提出了一种新的图像超分辨率重建质量评价参数，证明了图像超分辨率重建提高目标测量精度的可行性。针对目标边缘，将通道注意力机制引入网络，增强了网络对图像边缘的重建能力。最后，设计并搭建了目标测量系统，并进行了实验。结果表明：在公开数据集上，本文算法能取得更高的峰值信噪比（PSNR）和结构相似性（SSIM）等客观指标值；在实际测量中，本文算法可将原有测量系统极限分辨率提高25.9%，目标测量精度平均提高51.6%。本文研究为工业生产中的微目标检测和测量提供了一个潜在的发展方向。
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