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MAX相薄膜制备技术的研究进展
作者:史沛然; 法涛
来源:
热加工工艺
, 2018, 47(20): 30-37.
DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.2018.20.007
MAX相薄膜
制备技术
研究进展
摘要
阐述了近年来物理气相沉积、化学气相沉积及固相反应等技术制备MAX相薄膜的研究进展。指出了较低温度下成分可控的MAX相镀膜技术是未来研究的发展趋势。
单位
中国工程物理研究院材料研究所
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