MAX相薄膜制备技术的研究进展

作者：史沛然; 法涛

来源：热加工工艺, 2018, 47(20): 30-37.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.2018.20.007

• MAX相薄膜
• 制备技术
• 研究进展

阐述了近年来物理气相沉积、化学气相沉积及固相反应等技术制备MAX相薄膜的研究进展。指出了较低温度下成分可控的MAX相镀膜技术是未来研究的发展趋势。

• 单位
  中国工程物理研究院材料研究所