本发明公开了一种精密轴系误差运动的测量装置,包括精密轴系,及设置在精密轴系末端的特制高精度标准测量球,其轴向端面为平面反射镜,其它部位为球面反射镜;激光光源;径向和轴向误差运动的测量子系统,倾斜误差运动的测量子系统。本发明采用激光光源、特制高精密标准测量球、四象限探测器和信号处理模块,实现精密轴系误差运动量值的精确测量的方法。