氧化铂、钛过渡层对铂薄膜温度传感器性能的影响

作者：吕振杰; 庞雅文; 杨伸勇^*; 高向向; 张丛春^*

来源：传感器与微系统, 2023, 42(10): 9-20.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)10-0009-04

• 磁控溅射
• 铂薄膜电阻
• 过渡层
• 退火温度
• 温度传感器

铂(Pt)薄膜电阻具有体积小、结构简单、电阻温度系数(TCR)高和响应速度快的优点，结合MEMS技术可以实现发动机叶片温度的检测，但纯Pt与衬底之间的结合力较差，易导致薄膜失效。采用磁控溅射分别制备了氧化铂(PtxOy)和钛(Ti)过渡层的Pt薄膜电阻，分析了不同过渡层在不同温度(800,900,1 000℃)下退火的微观形貌和电学性能，并分别测试了2种Pt电阻在900℃和1 000℃下的稳定性。结果表明：1 000℃退火的Pt/PtxOy薄膜电阻的TCR值最大，达到了3 434×10-6/℃,Pt/PtxOy薄膜电阻的电学性能优于Pt/Ti薄膜电阻，综合分析，900℃退火的Pt/PtxOy薄膜电阻性能最优。

• 单位
  上海交通大学