摘要

目前,太阳能技术和电子技术不断发展,多晶硅作为重要的应用原料,其生产和制作水平也不断提升。在多晶硅制作的过程中,精馏、还原和尾气回收装置会消耗较多的能量,约占整体蒸汽耗量的95%。主要就多晶硅化工生产中的节能综合利用进行了阐述和分析。