高抗激光损伤阈值介孔SiO_2减反射膜

作者：杨瑜杰; 张磊; 徐耀; 吴东; 孙予罕; 赵松楠; 王海军; 吕海兵; 蒋晓东

来源：强激光与粒子束, 2008, (06): 935-938.

• 介孔SiO2膜
• SBA-15
• 激光损伤阈值
• 减反性能
• 溶剂蒸发自组装 Mesoporous SiO2 film
• Laser-induced damage threshold
• Anti-reflective performance
• Evaporation induced self-assembly

用P123作模板剂,通过正硅酸乙酯的水解缩聚和溶剂蒸发自组装过程在K9玻璃上制备介孔SiO2膜。应用FT-IR,XRD,N2吸附-脱附,AFM和UV-Vis表征手段研究了薄膜的介孔结构和光学性能,并使用"R-on-1"模式,以Nd:YAG脉冲激光(9.2 ns,1 064 nm)测试了薄膜的激光损伤阈值。结果表明:所镀制单层介孔SiO2膜具有规整的2D p6 mm长周期结构,为SBA-15型,膜层表面比较平整(均方根粗糙度为2.923 nm),在1 064 nm处的透过率为99.5%,换算为激光脉宽为1 ns时,膜层的激光损伤阈值为21.6 J/cm2,显示出了较好的减反性能和抗激光损伤性能。

• 单位
  中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 中国科学院山西煤炭化学研究所; 煤转化国家重点实验室; 中国科学院研究生院