一种超声波器件的3D有限元仿真与分析

作者：王晓飞

来源：电子世界, 2021, (01): 97-100.

DOI：10.19353/j.cnki.dzsj.2021.01.045

<正>对单个纳米级物体的可控转动在纳米级微结构的装配、生物微小样品的试验等科技领域中是一项特别重要的科学技术。这个领域的器件种类较多,可是对于这些用于转动纳米级物体的超声波振动器件的有限元仿真分析相对较少,这就造成了很难对这些器件的性能进行提高。在本文中,针对该类型的器件进行了振动特性分析,运用3D有限元分析方法,得到了一些对该类型器件优化提高的方法。