电子束诱导沉积钴微米线及其铁磁性

作者：杨朴; 杨泽燕; 王子佳; 李永杰; 祝筠晗; 相文峰; 邢颖^*

来源：微纳电子技术, 2020, 57(05): 359-365.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2020.05.004

• 钴微米线
• 微纳尺度
• 电子束诱导沉积
• 磁力显微镜(MFM)
• 铁磁绝缘体

通过电子束诱导沉积的方法制备了钴(Co)微米线,并利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力/磁力显微镜(AFM/MFM)以及物性测量系统(PPMS)等手段对Co微米线的沉积尺寸、微结构、铁磁性和电学性质进行了测试和分析。研究结果表明:Co微米线轮廓清晰、均匀性好。在不同的沉积条件下,微米线的实际长度与设定长度基本一致;实际宽度数据呈类梯形分布,半高宽是设定值的2～10倍;实际厚度低于设定厚度的60%。沉积电流对Co微米线的铁磁特性有重要影响。当沉积电流大于0.5 nA时,样品呈现出良好的铁磁特性。另外,电学性能测试结果显示Co微米线呈现绝缘特性。成功制备了室温铁磁绝缘Co微米线,这将有助于深入开展微纳尺度的结构与器件的研究和应用。

• 单位
  中国石油大学（北京）; 材料学院