使用有机胺类催化剂催化裂解多晶硅生产过程中副产的氯硅烷高沸物，可实现高沸物的无害化处理和资源化利用。采用气相色谱内标标准曲线法对高沸物的组成进行了分析，采用ICP-OES对高沸物中杂质含量进行了检测，实验结果表明，高沸物中的杂质能明显降低催化剂活性。考察了反应温度以及催化剂种类对高沸物催化裂解反应的影响并对反应机理进行了分析，实验结果表明，以N，N-二甲基苯胺为催化剂，反应温度为130-135℃，反应时间为1.5 h，催化剂用量为8wt%时，单硅烷产物的收率可达79.99%。
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