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摘要
<正>东南大学孙立涛教授团队及合作者在可视化原子尺度制造原理及工艺方面取得进展。相关研究成果以Solid-liquid-gas reaction accelerated by gas molecule tunneling-like effect为题，于2022年5月26日发表在《自然·材料》（Nature Materials）期刊上。湿法刻蚀广泛应用于半导体制造等重要领域，但湿法刻蚀方向选择性有限，很难得到尺寸精确可控的微纳结构。而当前7 nm、5 nm等先进晶体管器件对于内部金属、半导体和介电层等结构的几何尺寸具有亚纳米级的严苛精度要求。
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单位国家自然科学基金委员会
