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摘要
用脉冲激光沉积技术制备三种结构的金属铜材碳基保护膜，分析了失效样品剥离面的微结构。结果表明，在室温条件下生长的碳基复合膜，碳化硅层增强了界面间结合力、避免了类金刚石内应力积累导致的脱落。优化的碳基复合膜牢固地附着在金属铜材上，通过了国军标《光学薄膜通用规范(GJB 2485-95)》中附着力和中度摩擦测试。碳基复合膜使金属铜基材样品表面的纳米硬度比铜基材提高了4倍，增强了铜基材的抗划伤能力。
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用脉冲激光沉积技术制备三种结构的金属铜材碳基保护膜，分析了失效样品剥离面的微结构。结果表明，在室温条件下生长的碳基复合膜，碳化硅层增强了界面间结合力、避免了类金刚石内应力积累导致的脱落。优化的碳基复合膜牢固地附着在金属铜材上，通过了国军标《光学薄膜通用规范(GJB 2485-95)》中附着力和中度摩擦测试。碳基复合膜使金属铜基材样品表面的纳米硬度比铜基材提高了4倍，增强了铜基材的抗划伤能力。
