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扫描电镜样品制备及图像质量影响因素分析
作者:马虹; 徐娜
*
; 时军波; 李囡; 李恩霞; 张宏
来源:
科技创新导报
, 2019, 16(26): 103-104.
DOI:10.16660/j.cnki.1674-098X.2019.26.103
场发射扫描电镜
样品
制备方法
图像质量
摘要
样品的制备作为扫描电子显微镜观测前的必要工序,对观测结果的精确性和准确度有重要影响。本文介绍了场发射扫描电子显微镜块状和粉末样品的制备方法,归纳总结了影像图像质量的主要因素。
单位
齐鲁工业大学
; 山东省分析测试中心
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