本实用新型涉及一种SiC欧姆接触结构,包括：SiC衬底11；第一Ni层12,设置于所述SiC衬底11上；Ti层13,设置于所述第一Ni层12上；第二Ni层14,设置于所述Ti层13上；TaSi2层15,设置于所述第二Ni层14上；Pt层16,设置于所述TaSi2层15上。本实用新型提供的SiC欧姆接触结构提高了欧姆接触的热稳定性和抗氧化性能。
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