摘要
本发明公开了一种五水四甲基氢氧化铵晶体的脱水方法。该方法将含五个结晶水的四甲基氢氧化铵晶体溶于有机溶剂,溶解,制得四甲基氢氧化铵有机溶液的原料液;原料液经过二级刮膜式分子蒸馏器的一级蒸馏预热后进入二级蒸馏,控制冷阱的温度为0-8℃,真空度为100-1000Pa,进而控制二级蒸馏原料的蒸发流量为10-40ml/(m~2·s),分子蒸馏的温度为75-85℃,真空度为100-1000Pa;收集重组分,得到含水量为0.4-0.87wt%四甲基氢氧化铵有机溶液。该方法原材料简单易得,操作简单,能够有效去除TMAH五水结晶化合物中的水,制得可用于电子半导体行业的无水TMAH有机溶液。
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