背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜

作者：朱艳青; 梁静秋; 梁中翥; 黄鑫华; 乐孜纯; 伊福廷; 侯凤杰; 黄万霞; 董文; 王维彪; 王志立; 崔乃迪

来源：Acta Physica Sinica, 2009, (03): 1526-1530.

• 组合折射透镜
• 背面曝光
• 沙漏状
• SU-8 compound refractive lens (CRL)
• back-mask exposure
• hourglass shape
• SU-8

在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤,使制作更加简便易行.在10keV单色X射线辐射下,对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试,结果表明,所制作的透镜较好地实现了一维聚焦.

• 单位
  中国科学院研究生院; 浙江工业大学; 中国科学院高能物理研究所; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室