超宽禁带半导体Ga2O3微电子学研究进展

作者：赵正平

来源：半导体技术, 2019, 44(01): 1-7.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.01.001

• Ga2O3单晶
• Ga2O3外延
• β-Ga2O3肖特基二极管
• β-Ga2O3金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)
• β-Ga2O3鳍式场效应管(FinFET)

半导体材料Ga2O3是继宽禁带半导体材料SiC/GaN之后新兴的直接带隙超宽禁带氧化物半导体,其禁带宽度为4.5～4.9 eV,击穿电场强度高达8 MV/cm (是SiC及GaN的2倍以上),物理化学稳定性高,在发展下一代电力电子学和固态微波功率电子学领域具有较大的潜力。自2012年第一只Ga2O3场效应晶体管诞生以来,Ga2O3微电子学的研究呈现快速发展态势。本文综述了β-Ga2O3单晶材料和外延生长技术以及β-Ga2O3二极管和β-Ga2O3场效应管等方面的研究进展,介绍了β-Ga2O3材料和器件的新工艺、新器件结构以及性能测试结果,分析了相关技术难点和创新思路,展望了Ga2O3微电子学未来的发展趋势。

• 单位
  中国电子科技集团公司; 专用集成电路重点实验室