一种多参量协同敏感的谐振式压力传感器及其制备方法

作者：许高斌; 陈诚; 马渊明; 陈兴; 余智

来源：2020-01-17, 中国, CN202010051945.1.

本发明涉及一种多参量协同敏感的谐振式压力传感器,属于微电子机械技术领域。所述谐振式压力传感器包括紧密连接的压力敏感材料层和谐振器结构层；谐振器结构层的中部设有谐振器；谐振器包括主谐振梁和位于主谐振梁两侧的对称设置的谐振机构,两侧谐振机构结构相同；谐振机构包括双面梳齿结构、一对侧梁和质量块；双面梳齿结构包括两对电极和梳齿杆；一侧的压力敏感材料层之间设有复合梁式温度传感器；所述谐振式压力传感器的输入信号由所述激励电极、引线电极分别引入,输出信号由所述检测电极引出。本发明压力敏感薄膜上的形变通过硅岛转化成谐振器方向上的平面振动,谐振器与压力敏感膜片的工作模态相互垂直,抵抗外界干扰能力更强。

• 单位
  合肥工业大学