片上集成滤光微结构的研究进展

作者：王云姬

来源：金陵科技学院学报, 2020, 36(01): 27-52.

DOI：10.16515/j.cnki.32-1722/n.2020.01.006

• 片上集成
• 滤光膜
• 探测器

由于在传统的红外探测器系统中,滤光片与探测器是分立存在的,所以普遍存在"串色"的问题,而实现滤光片在探测器上的片上集成,可以解决这一问题。为此,国内外做了很多研究。论述了国内外关于片上集成滤光微结构的一些研究进展。

• 单位
  金陵科技学院