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摘要
本发明公开了一种双层五边形电极的薄膜体声波谐振器。所述薄膜体声波谐振器从上至下包括顶电极、压电层、底电极构成的压电振荡堆结构,以及支撑层(连接层)和衬底。本发明所述的顶电极由内外两层五边形构成,由同一圆周的内外界五边形经一定角度旋转获得。本发明所述的顶电极外层厚度高于内层五边形厚度,在边缘处形成台阶边框,其余位置均为平面,且内外五边形任意两边均不平行,从而形成非对称图形,使得横向寄生的声波产生衰减和分散。本发明通过设计电极层的形状尺寸,在不增加工艺步骤的前提上抑制谐振器的横向剪切波,提高谐振器的Q值,优化薄膜体声波谐振器谐振特性。
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