电子级多晶硅生产关键工艺控制

作者：马启坤; 赵桂洁; **雄

来源：云南冶金, 2019, 48(04): 76-78.

• 电子级
• 多晶硅
• 生产工艺

围绕生产电子级多晶硅关键工艺控制各环节,研究了如何生产出高品质电子级多晶硅产品。

• 单位
  昆明冶金研究院; 云南冶金云芯硅材股份有限公司