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摘要
采用磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了结晶良好的Mg2Si多晶薄膜，研究退火温度（375-475 ℃）对薄膜的晶体结构、表面形貌、拉曼光谱和光学性质的影响。XRD结果表明，当退火温度为400 ℃时Mg2Si （220） 衍射峰强度最强，样品结晶质量最好，未见明显可观测的MgO相。SEM结果表明，所有样品表面均呈现清晰可见的规则的六边形，且退火温度对形貌影响较小。拉曼光谱结果表明，所有样品均呈现出Mg2Si薄膜的特征峰(256 cm-1附近的F2g振动模)，同时出现345 cm-1附近的F1u （LO）声子模，表明生成的样品均为结晶良好的Mg2Si薄膜。随着退火温度升高，样品的光学带隙先增大后减小。
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