TiN/TiCN多层调制结构薄膜的结构和力学性能研究

作者：任鑫; 江仁康; 赵瑞山; 王丞; 黄美东

来源：有色金属工程, 2019, 9(12): 29-34.

DOI：10.3969/j.issn.2095-1744.2019.12.005

• TiN/TiCN多层膜薄膜
• 复合离子镀
• 调制周期
• 结构
• 力学性能

以304不锈钢为基体,利用复合离子镀技术制备了TiN/TiCN多层膜,主要研究了不同调制周期下薄膜组织结构和力学性能的变化规律。结果表明:不同调制周期下得到的TiN/TiCN多层膜表面比较致密、平整,随着调制周期的减小,表面质量有一定改善。多层膜结构主要由fcc-TiN型固溶体构成,不存在a-C结构。随着调制周期的减小,物相分析表明TiN/TiCN多层膜发生了择优生长,出现了(111)晶面生长织构,其纳米硬度和弹性模量逐渐增大,在调制周期λ=0.15μm时达到最大值,分别为35.56GPa和436.2GPa。

• 单位
  辽宁工程技术大学; 天津师范大学