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摘要
本发明公开了一种表面优化的异质结紫外光电晶体管及其制备方法,紫外光电晶体管包括N型4H-SiC衬底；依次设置于所述N型4H-SiC衬底的上表面的P型4H-SiC缓冲层、N型4H-SiC发射区、P型4H-SiC基区和N型4H-SiC集电区；梯形凹槽,贯穿所述N型4H-SiC集电区直至所述P型4H-SiC基区的上表面；CaFCl层,设置于所述梯形凹槽内,且与所述N型4H-SiC集电区的上表面齐平；漏斗形槽阵列,设置于所述CaFCl层和所述N型4H-SiC集电区上；集电极欧姆接触层,设置于所述CaFCl层中间位置的上表面,以及所述N型4H-SiC集电区两端的上表面；发射极欧姆接触层,设置于所述N型4H-SiC衬底的下表面。本发明可以应用于高速探测上。
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