基于FDTD仿真算法的硅基光子集成分析

作者：仝香

来源：电子技术, 2023, 52(07): 36-38.

• 硅基光子学
• 抗反膜
• 微加工技术

阐述硅基微结构材料在界面光学调控中的应用，包括多种平面光学结构设计在宽谱透反射的特性，目标是实现一种具有高抗反射性质以及便于微加工的硅基光学抗反射膜。