本发明公开了一种碳化硅纳米空心柱阵列及基于其的日盲紫外探测器,该碳化硅纳米空心柱阵列是通过两步无掩膜感应耦合等离子刻蚀方法而制成,该探测器的结构为：将碳化硅衬底的上表面刻蚀成碳化硅纳米空心柱阵列,并以Ti-3C-2T-x薄膜和Ti-3AlC-2薄膜分别作为肖特基接触电极和欧姆接触电极。本发明所制备的探测器具有高质量的肖特基特性、高性能日盲紫外响应和易制备大面积器件等优点。
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