InAs/InAsSb超晶格红外中/中波双色焦平面探测器研制

作者：何英杰^*; 彭震宇; 曹先存; 朱旭波; 李墨; 陶飞; 丁嘉欣; 姚官生; 张利学; 王雯; 吕衍秋

来源：红外与毫米波学报, 2022, 41(03): 545-550.

• InAs/InAsSb
• 双色中/中波
• 焦平面
• 红外探测器

超晶格材料已经成为了第三代红外焦平面探测器的优选材料。双波段红外探测器能够通过对比两个波段内的光谱信息差异，对复杂的背景进行抑制，提高探测效果，在需求中尤为重要。本文开展了InAs/InAsSb超晶格中/中双色焦平面探测器设计及制备技术研究，从器件设计、材料外延、芯片加工等方面展开研究，制备了中心距30μm的320×256 InAs/InAsSb二类超晶格中/中波双色焦平面探测器。器件短中波峰值探测率达到7.2×1011cm·Hz1/2W-1，中波峰值探测率为6.7×1011cm·Hz1/2W-1，短中波有效像元率为99.51%，中波为99.13%，获得了高质量的成像效果，实现中中双色探测。

• 单位
  中国空空导弹研究院