硅外延片生产中工艺缺陷——滑移线的成因分析和控制措施

作者：徐卫东; 肖健; 何晶

来源：天津科技, 2023, 50(12): 35-37.

DOI：10.14099/j.cnki.tjkj.2023.12.003

• 硅外延缺陷
• 滑移线
• PID控制

滑移线是一种硅外延片生产中常见的缺陷，由于硅外延片在加热处理过程中受到不均匀的温度分布影响，导致其表面出现的一种工艺缺陷现象。结合生产设备ASM2000型号外延炉，阐述了滑移线的形成机理，通过研究衬底、基座、升降温速率、温场均匀性等对滑移线的影响，提出了针对关键影响因素的解决办法，以避免滑移线的产生、改善硅外延片的生产质量和提高硅外延片的性能。