分布反馈量子级联激光器的光栅制备

作者：李耀耀; 徐刚毅; 张永刚; 李爱珍; 魏林

来源：功能材料与器件学报, 2009, (05): 471-476.

• 分布反馈激光器
• 全息曝光
• 光栅制备 distributed feedback lasers
• holographic lithography
• fabrication of gratings

利用全息曝光方法制备了分布反馈量子级联激光器的光栅掩模,选择和发展了恰当的用于InGaAs/InP材料的光栅腐蚀优化工艺,得到腐蚀规律,讨论了腐蚀机制。在量子级联激光器的InGaAs/InP层上制备光栅得到分布反馈量子级联激光器,其单模特性较好,信噪比大于30dB。

• 单位
  信息功能材料国家重点实验室; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 中国科学院研究生院