探讨痕量惰性气体分析方法研究进展

作者：张晓楠; 柏宏斌; 孔晖

来源：低温与特气, 2022, 40(03): 17-20.

• 惰性气体
• 质谱
• 能谱

在人们生活中，惰性气体表现出较高的重要性。在科技发展背景下，检测方法获得了进步。综述了近年来惰性气体的分析方法，梳理了分析流程，对比色谱、质谱各项分析方法。针对各类分析方法的实际使用情况，对惰性气体的分析研究工作进行总结。