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摘要
氟化钙晶体微腔相比玻璃材料微腔，具备吸收常数小、缺陷少、纯度高、对周围环境湿度不敏感的优势，在微波光子学、陀螺仪和非线性光学等领域具有潜在的应用价值。在本文中，通过超精密加工技术制备了回转椭球体氟化钙毫米晶体微腔。研发了一套精密加工系统来制备这种微腔，所制得的微腔形状为回转椭球体。获得的微腔结构边缘表面粗糙度低至1.97nm。使用光纤锥波导与氟化钙微腔实现了高效耦合，此耦合系统展现了高达～10~8的超高品质因子Q值和低至～0.03 nm的自由光谱范围。这些结果证明了针对氟化钙微腔的加工手段是极具意义的，将大大促进其应用。氟化钙微腔的特性也证明了它在光学滤波器，腔量子动力学，非线性光学和陀螺仪等...
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