紫外光辐照Bi_(4-x)Nd_xTi_3O_(12)薄膜制备工艺

作者：肖立华; 王文; 孟庆昌; 柯华; 贾德昌; 周玉

来源：稀有金属材料与工程, 2009, 38(S2): 279-281.

• Bi4-xNdxTi3O12薄膜
• 溶胶-凝胶
• 紫外光辐照 Bi4-xNdxTi3O12 thin films
• sol-gel processing
• UV-irradiation

以Pt(111)/Ti/SiO2/Si为基片,采用溶胶凝胶法,通过紫外光辐照钕掺杂钛酸铋(Bi4-xNdxTi3O12,x=0.25,0.75)胶体,分别采用电泳沉积和甩胶沉积制备薄膜,并对比了制备的薄膜质量。通过差热-热重分析(DSC-TG)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等技术手段对Sol-Gel法制备的BNT薄膜进行了表征。研究结果表明,经紫外光辐照和电泳沉积制备的Bi4-xNdxTi3O12(x=0.25,0.75)薄膜于300℃煅烧有机物,500℃随炉热处理,可得到均匀致密且(117)择优取向的钙钛矿相BNT薄膜。

• 单位
  哈尔滨工业大学