<正>机器模型(MM)静电放电模拟器是一种模拟带电设备对器件放电的静电放电抗扰度测试的设备,用于半导体、电子元器件、集成电路、芯片等进行静电抗扰度测试。目前国内还没有机器模型静电放电模拟器相关的校准规范或检定规程,JJF1238-2010《集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范》只适用于人体放电模型(HBM),目前该规范处于修订中。根据半导体、集成电路、芯片产业发展形势,规范机器模型静电放电模拟器的校准方法具有重要的意义。
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