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摘要
为研究微米间隙中气体的击穿特性，在3～100μm间隙距离中进行1～100 kPa可变气压的放电试验。试验发现10μm以下间距击穿电压曲线偏离巴申曲线，固定间距只改变压强时，击穿电压随气压的变化与较长间隙不同，3～5μm间距的击穿电压会随气压升高而降低。通过求解阴极附近离子数密度公式，发现微间距条件下阴极附近有较高的离子数密度，离子数密度会随气压的升高而增加，随间距增大而减小。离子数密度越高，在阴极表面附近形成离子附加电场就越强，与外电场耦合后促进场致发射，击穿会更易发生。计算了离子增强场效应系数γ’，并将其与Townsend二次发射系数γ对比，发现离子增强场效应对5μm以下的间隙放电影响最强烈，随间距的增加其影响逐渐减弱，10μm后击穿过程可用Townsend理论来解释。
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单位自动化学院; 河南理工大学
