第十六讲 真空系统的操作与维护

作者：张以忱

来源：真空, 2010, (03): 86-88.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2010.03.010

• 制冷机低温泵
• 真空系统
• 抽速

<正>(上接2010年第2期88页)系统操作时,可先用粗抽泵将真空室抽到200 Pa左右,然后启动低温泵的压缩机进行冷却,如果泵体是用氮气吹除过的,那么开始时聚集在吸附剂上的水蒸气是不多的。待泵冷却后及系统达到转换压力后,关闭粗抽阀并打开高真空阀,低温泵开始工作。

• 单位
  东北大学