双纵模激光拍频干涉仪的研究

作者：周肇飞; 张涛; 朱目成; 尹伯彪

来源：中国激光, 2005, 32(1): 101-104.

DOI：10.3321/j.issn:0258-7025.2005.01.024

• 仪器
• 大尺寸测量
• 双纵模激光
• 激光拍频干涉仪

介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的系统.以有高稳定性和强抗干扰能力(室外可达10.)的双纵模热稳频He-Ne激光器为光源,其拍频约为790 MHz,拍频波长约376μm;以节点为对准标志,最邻近节点到被测点的间距用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪测量,分辨率为0.08 μm.采用自适应滤波和小波运算大幅度地降低了光电信号噪声,并强化波形.测试表明,测量的不确定度优于30 μm/10 m,整个测量系统可在0～20 m范围内工作.

• 单位
  四川大学