克服FET生物传感器德拜屏蔽效应的研究进展

作者:熊恩毅; 魏淑华; 张兆浩; 魏千惠; 张双; 方敏; 张青竹
来源:半导体技术, 2021, 46(03): 169-177.
DOI:10.13290/j.cnki.bdtjs.2021.03.001

摘要

目前场效应晶体管生物传感器(BioFET)已成功用于生物医学检测。虽然BioFET在生物检测方面具有快速响应、无标记和高灵敏度检测等优点,但是BioFET用于生理环境检测时,容易受到德拜屏蔽效应的影响,导致灵敏度降低甚至无法检测。阐述了BioFET的工作原理;介绍了BioFET目前面临的挑战之一——德拜屏蔽效应;解释了德拜屏蔽效应的原理;探讨了克服德拜屏蔽效应的典型方法:增加德拜长度、优化目标物、优化器件结构以及降低电双层影响,并对这4个方面的研究进展从增强机理、具体方法及检测效果等方面进行了详细的分析和总结。

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