大行程三平动柔性微定位平台的设计分析及优化

作者：曹毅^*; 王保兴; 孟刚; 林苗; 张洪

来源：机械工程学报, 2020, 56(17): 71-81.

• 柔性机构
• 大行程
• 结构设计
• 非线性分析
• 参数寻优

为设计具有毫米级运动行程、良好的静、动态特性且结构多样的三维平动柔性微定位平台。首先,提出两种新型的多自由度大行程柔性运动副。其次,基于该运动副,给出三种新型大行程空间平动柔性微定位平台实例。然后,采用非线性方法建立平台力位移关系、输入耦合及丢失运动的理论模型,并采用柔度矩阵法建立平台的刚度及固有频率模型。随后,以提高平台的静、动态性能为目标对平台进行参数寻优。最后对平台进行有限元分析,验证理论模型的正确性。根据理论与仿真结果,平台一阶固有频率为49.6Hz,在1mm运动行程内,x、z轴方向的丢失运动分别小于0.32%、0.7%,输入耦合小于1.2%且输出完全解耦。为空间平动柔性微定位平台的设计、分析及优化提供了一种系统化的研究方法。

• 单位
  江南大学