以六水合硝酸锌为原料,乙酰丙酮为配体剂,无水乙醇为溶剂,氨水为添加剂,制备了乙酰丙酮锌络合物前驱体溶液。以掺氟氧化锡导电玻璃为基底,将前驱体溶液旋涂到基底,在干燥的氮气气氛中,经波长为172 nm的真空紫外光照射5分钟后,可以对前驱体薄膜中的金属有机前躯体进行光化学分解,形成氧化锌薄膜。采用紫外吸收光谱、傅里叶变换红外光谱、X射线光电子能谱、X射线衍射、以及扫描电镜对薄膜进行表征和分析。结果表明,有机配体在真空紫外光光照5分钟内迅速分解和缩聚,生成无针孔、高致密的ZnO薄膜。