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摘要
文章提出了一种微流控多功能器件，利用介质上电润湿(EWOD)效应灵活改变进光能量，可实现可变光圈、可变光衰减器和光开关等多个功能。其具有结构简单、体积小、操作简便、应用广且灵活和成本低等优点。文章分析讨论了所提微流控多功能器件的光学特性并做了结构优化。研究结果表明，所提微流控多功能器件的插入损耗很小，仅为0.014 dB;液体可变光圈的通光孔径变化范围为0～0.506 mm;可变光衰减器理论上具有0～100%的可变衰减范围，外加91.1V电压时的衰减量为40.2dB;微流控光开关无电压时处于“关”状态，外加电压大于135 V时，处于“开”状态。
- 单位
