单电子晶体管的制备与表征

作者：吴小宇; 赵虎; 李智^*

来源：低温物理学报, 2020, 42(02): 97-102.

DOI：10.13380/j.ltpl.2020.02.006

• 单电子晶体管
• 双角度蒸发
• 约瑟夫森结
• 静电防护

单电子晶体管是一种非常重要的器件,在量子计算、电荷探测领域具有重要应用.由于其尺寸极小,很容易受到静电的影响导致损坏,并且对于测试条件要求苛刻,制备与观测较为困难.本文用双角度蒸发的方法制备了SET,在稀释制冷机的10 mK极低温度下,对SET的基本性能进行了测试和表征.针对制备、运输、测试以及安装的全流程提出了一整套静电防护方案.

• 单位
  四川大学