空间反射镜基底材料碳化硅表面改性研究

作者：高劲松; 申振峰; 王笑夷; 王彤彤; 陈红; 郑宣鸣

来源：光学学报, 2009, (09): 2624-2629.

• 薄膜
• 表面改性
• 离子辅助
• Si薄膜
• SiC薄膜
• SiC反射镜 thin films
• surface modification
• ion assisted
• Si coating
• SiC coating
• SiC mirror

直接抛光后的SiC反射镜表面光学散射仍较大,无法满足高质量空间光学系统的应用需求。为此必须对SiC反射镜进行表面改性,以获得高质量的光学表面。目前国际上较为流行的是制备Si或SiC改性层进行表面改性。分别采用离子辅助电子束蒸发方法制备Si和SiC改性层进行改性,相关测试结果表明:Si改性层结构为立方相,改性后基底表面粗糙度(rms)降到0.620 nm,散射系数减小到1.52%;SiC改性层结构为非晶相,改性后基底表面粗糙度(rms)降到0.743 nm,散射系数减小到2.79%。两种改性层均与基底结合牢固,温度稳定性较高。从可靠性方面考虑,目前在国内第一种方法更适于实际工程应用。该工艺改性后...

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所