基于相干光的微电子光学测量系统技术分析

作者：陆亚青

来源：电子元器件与信息技术, 2020, 4(09): 4-5.

DOI：10.19772/j.cnki.2096-4455.2020.9.002

• 相干光
• 微电子
• 光学测量
• 光路系统

目前集成电路对微电子测量技术提出了较高要求,其中光学关键尺寸作为微电子测量中的关键,其分辨率与测量极限问题表现得较为突出。本文基于相干光技术,详细研究相干光技术在微电子光学测量中的应用,并提出一套完整的系统方案,希望为进一步提高微电子测量精准度寻找出更有效的方法。

• 单位
  无锡科技职业学院; 枣庄科技职业学院